本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　90vs体育讯 北京时间7月22日，国际足联公布了最新一期FIFA世界排名，国足排名世界第80位、亚洲第11位。

　　由于2026美加墨世界杯暨2027沙特亚洲杯联合预选赛第一、第二阶段分档是以本期FIFA排名为依据，中国男足确定将以第二档球队身份参与世预赛36强赛的分组抽签。

　　按照计划，抽签仪式定于北京时间27日在亚足联总部吉隆坡进行。

智能新体验：最高智能等级冰箱，让下厨化繁为简

回溯中国智能冰箱十余年发展史，海尔既是开创者，也是领跑者。早在2015年，海尔就发布了世界首台互联网冰箱。此后，智能冰箱在语音交互、图像识别等多版块持续升级。

如今，最高智能等级的冰箱仍然来自海尔。依据2025年底发布的智能家电新国标，家电智能水平被划分为L1至L5五级，其中L4级代表了现行标准下的最高智慧水准。当多数产品仍困于“场景体验不连贯”时，首个达到L4智能等级的海尔冰箱则以覆盖“购、存、管、取、烹”全链路服务，真正实现健康饮食全托管。

AWE现场，海尔AI多舱魔方冰箱seeker系列给用户带来了无缝衔接的厨居体验：在超市采买时，海尔智家APP实时盘点食材库存，缺什么一目了然；存食材时，冰箱自动识别全域食材并给出专业存储建议、及时提醒食用；找食材时，下达语音指令，冰箱就会主动提供语音、灯光双“导航”，无需翻箱倒柜；取出食材后，冰箱随即定制健康菜单；做饭时，还能联动厨电主动烹饪，简化操作流程。

储物新格局：首创7门9舱12区，适配全家储鲜需求

海尔AI多舱魔方冰箱seeker系列的问世，也是一场家庭储鲜秩序的空间革命。冰箱行业虽已步入“大容积”时代，但对于多口之家而言，食材无序混放的痛点仍然存在。正如AWE现场参观者王女士所言：“一家人各有各的喜好，冰箱里总是存得乱糟糟的。”

针对这类痛点，该系列新品首创7门9舱12区格局，搭配4档变温空间，提供多样化的个性储鲜方案，不仅从硬件格局上解决了食材混放的问题，更为各类食材提供专属储鲜方案，呵护每一位家庭成员的入口新鲜。

保鲜新高度：唯一国奖级保鲜科技，锁住食材营养和口感

除了最高智能等级认证、7门9舱格局，海尔冰箱新品在保鲜层面也建立起了难以逾越的技术壁垒。新品搭载了行业唯一获“国家科技进步奖”的磁控全空间®保鲜科技，实现冷鲜肉冷藏红嫩鲜香10日如初，深海鱼虾冷冻60天鲜香味美。

从保鲜引领到智能引领，海尔冰箱为行业树立起一座座新标杆，也以场景创新夯实了海尔智家“平台服务型科技生态企业”的形象，引领全球家电行业迈向万物互联、主动服务的新时代。

雷峰网(公众号：雷峰网)

　　据了解，肥西县正全力打造“三大战新产业”集群，“新能源汽车全链条”是其中的重要一环。作为全县工业经济重要阵地，肥西经开区一大批新能源汽车产业链项目成为全县战略的重要支撑。

　　目前，肥西经开区已形成以江淮汽车、TCL家用电器为龙头的汽车及配套、家电及配件两大主导产业，以泰禾光电、亿帆生物、安利材料为龙头的智能制造、生物医药、新材料等战略性新兴产业，连续数年在全省国家级培育期开发区综合发展水平考核评价中位列第2名。肥西经开区已成为战新产业的排头兵，工业强县的重要增长极。

　　在肥西经开区近期开工项目中，新能源汽车关联企业占大多数，从招商引资的侧重可见开发区对战新产业的谋势布局。

　　在肥西经开区新港南区明堂山路与下派河路交口，占地60亩、总投资5亿元的大众一汽平台项目于今年2月底开工，建成达产后，可形成年产21万辆份电动汽车底盘总成，预计年产值20亿元。

　　此外，肥西经开区内还有多家汽车产业链项目正紧锣密鼓推进。总投资10亿元的宁波华翔合肥基地从签约到开工，仅用3个月时间，刷新“肥西速度”。力劲科技智能超大型压铸装备生产基地项目、瑞山汽车零部件智能工厂项目已在“摩拳擦掌”，做好开工前的热身准备。

　　开局就是决战，起步就是冲刺，新能源汽车全产业链再添新军，肥西经开区的强磁场效应正在强盛释放。（刘小容 周珺）